• Energy Saving・Pump 성능 향상 

동기 Motor 채용으로 Energy Saving, 저소음, 기밀화, 개량화 실현

• Clean한 진공 실현과 보수 비용 ・공정수를 삭감 

1) 다단 Roots이기 때문에 Pump 내부에서 마모 /열화하는 부품이 없고 

Clean한 진공 제공 

2) Maintenance 는 6년에 한번 Overhaul을 실시할 뿐이며 보수를 위한 

수고・비용을 대폭 삭감 

• 수증기, 부식성 Gas, 용제 , 수분 배기가 가능 

1) Gas ballast를 사용함으로써 수증기, 부식성 Gas, 용제, 수소 등 배기 가능 

2) 수소는 Option 인 N2 purge unit을 사용함으로써 펌프 성능 유량 범위 안에서 배기 가능

• 공랭식 채용 

공랭식 채용으로 냉각수가 불필요

• 저소음  

Pump 구조・부품을 재검토, 업계 Top class의 저소음 성능을 실현 

• Wide 입력 전원, Serial통신, Valve 전원 공급 기능 탑 

1) 전용 제어회로를 탑재, AC100V/AC200V 전원에 대응

2) Serial 통신, 진공 유지용 Valve의 전원 공급 기능을 표준 탑재